[发明专利]可调谐激光器在审
| 申请号： | 202110503088.9 | 申请日： | 2021-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN113206444A | 公开（公告）日： | 2021-08-03 |
| 发明（设计）人： | 尹小杰;吴丹;张家顺;王亮亮;王玥;安俊明 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | H01S5/14 | 分类号： | H01S5/14;H01S5/068;H01S5/024;H01S5/02216 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周天宇 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种可调谐激光器，包括封装管壳、制冷器、热沉垫块、谐振腔结构；封装管壳内部形成一封装腔，封装管壳的一侧形成一输出端；制冷器安装至封装腔的底壁面上；热沉垫块安装至制冷器的端面上，热沉垫块背向制冷器的端面上形成一安装面；谐振腔结构包括沿远离输出端的方向依次安装至安装面的布拉格光栅、耦合透镜以及增益芯片。封装腔内设置谐振腔结构，利用制作的集成电极的布拉格波导光栅的热光效应实现可调谐功能，布拉格波导光栅的反射特性不仅能够实现单频窄线宽、低噪声的激光输出；布拉格光栅作为一个反射面，与增益芯片一起构成激光器的谐振腔，开发成本低，工艺精度高，且结构安装不复杂，产品一致性较好和适合大规模生产。 | ||
| 搜索关键词： | 调谐 激光器 | ||
【主权项】：
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