[发明专利]坩埚及晶体制造装置在审
申请号: | 202110480369.7 | 申请日: | 2021-04-30 |
公开(公告)号: | CN113584575A | 公开(公告)日: | 2021-11-02 |
发明(设计)人: | 照井达也 | 申请(专利权)人: | TDK株式会社 |
主分类号: | C30B15/10 | 分类号: | C30B15/10;C30B15/08 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 杨琦 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种坩埚及晶体制造装置,其能够提高由晶种引出的熔液的温度分布的均匀化并得到更均匀的组成的晶体。是具有贮存成为晶体的原料的熔液的熔液贮存部(24)、和控制晶体的形状的模具部(34)的坩埚。模具部(34)具有使熔液(30)从熔液贮存部(24)的底面所具备的贮存部流出口(32)通向模具部(34)的端面所具备的模具流出口(38)的模具流路(36),模具流路(36)具有流路截面积小于模具流出口(38)的开口面积的狭窄部(36a1)。 | ||
搜索关键词: | 坩埚 晶体 制造 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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