[发明专利]一种大面阵图像传感器低温面形检测装置及方法在审
| 申请号： | 202110470803.3 | 申请日： | 2021-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN113188472A | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 郭亮;韩康;张旭升 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 长春众邦菁华知识产权代理有限公司 22214 | 代理人： | 张小龙 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种大面阵图像传感器低温面形检测装置及方法，其装置包括：低温杜瓦，低温杜瓦的一侧设置有光学窗口；平面玻璃，平面玻璃与光学窗口平行设置；导向装置，导向装置设置于低温杜瓦和平面玻璃之间；导向装置上安装有第一光学探头和第二光学探头，第一光学探头垂直朝向平面玻璃设置，第二光学探头垂直朝向光学窗口设置；方法包括：将大面阵图像传感器感光面平行面向低温杜瓦的光学窗口设置；将平面玻璃平行的设置在光学窗口正前方；将导向装置安装在平面玻璃和光学窗口之间；启动三维形貌仪，进行面形检测。本发明具消除了导轨误差，具有面形测量精度高、系统装调简单、检测方法普适性好等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 大面 图像传感器 低温 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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