[发明专利]一种用于无掩膜曝光的照明模组有效
| 申请号： | 202110463944.2 | 申请日： | 2021-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN113156777B | 公开（公告）日： | 2023-06-27 |
| 发明（设计）人： | 桂立 | 申请（专利权）人： | 苏州赛源光学科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288 | 代理人： | 葛燕婷 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于无掩膜曝光的照明模组，包括准直透镜组以及汇聚透镜，准直透镜组包括依次设置的第一准直透镜，第一准直透镜为凹凸透镜；第二准直透镜，第二准直透镜为双凸透镜；第三准直透镜，第三准直透镜为凸凹透镜；第四准直透镜，第四准直透镜为平凸透镜；汇聚透镜为双凸透镜，通过上述设计，本发明用于无掩膜曝光的照明模组结构简单、光能透过率更高，照明均匀性更好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 无掩膜 曝光 照明 模组 | ||
【主权项】：
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