[发明专利]一种光谱共焦可测量面型或厚度的装置及方法有效
| 申请号： | 202110457465.X | 申请日： | 2021-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN113137931B | 公开（公告）日： | 2023-03-14 |
| 发明（设计）人： | 蒋锦昌;宋素霜 | 申请（专利权）人： | 珠海横琴美加澳光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G01B11/24 |
| 代理公司： | 中山驰鼎专利商标代理事务所(普通合伙) 44706 | 代理人： | 凌信景 |
| 地址： | 519000 广东省珠海市横琴新*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光谱共焦可测量面型或厚度的装置及方法，该装置包括多光谱光源、聚焦透镜组、准直透镜组、分光镜、色散聚焦透镜组、XY位移平台、聚焦透镜组、光谱分析仪，其具有结构设计合理简洁，无需接触即可准确测量被测面板的厚度，以及测量稳定可靠的特点；该方法利用被测面板的界面反射特性，通过调节XY位移平台使得被测面板的表面在色散焦点范围聚焦，聚焦的反射光再通过色散聚焦透镜组收集后聚焦于光谱分析仪，由与光谱分析仪连接的计算机处理而得到相应的光强极值，并根据XY位移平台在对应的光强极值出现的时间间隔内的位移变化量则可计算出被测面板的面型或厚度，实现无接触式、高精度测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光谱 可测量 厚度 装置 方法 | ||
【主权项】：
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