[发明专利]一种基于人造蛋白石湿敏材料的光电湿度传感器在审
| 申请号： | 202110450325.X | 申请日： | 2021-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN113176300A | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 李携曦;喻彬璐;罗雨萌;陈亮 | 申请（专利权）人： | 南方科技大学 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00;A61B5/08 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 潘登 |
| 地址： | 518055 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于人造蛋白石湿敏材料的光电湿度传感器，该湿度传感器由人造蛋白石湿敏材料和氮化镓(GaN)光电微芯片组成。人造蛋白石湿敏薄膜覆于GaN光电微芯片表面，GaN光电微芯片采用半导体工艺中的光刻、刻蚀、沉积等方式制备，芯片具备在低电耗下同时完成快速发射和接收光信号能力。本发明高效且成本低，湿度测试范围广，线性度好，灵敏度高，可以有效监测人体呼吸频率和呼吸之间气体湿度变化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 人造 蛋白石 材料 光电 湿度 传感器 | ||
【主权项】：
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