[发明专利]一种激光腔外倍频系统在审

专利信息
申请号: 202110447815.4 申请日: 2021-04-25
公开(公告)号: CN113517624A 公开(公告)日: 2021-10-19
发明(设计)人: 杨军红;扈金富;印晓丽 申请(专利权)人: 广东粤港澳大湾区硬科技创新研究院
主分类号: H01S3/00 分类号: H01S3/00;H01S3/08
代理公司: 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 代理人: 魏毅宏
地址: 510700 广东省广州市黄埔*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明提供的激光腔外倍频系统,包括沿光路传输方向依次设置的二倍频晶体(1)、匹配透镜(2)、第一波片(3)、二向色片(4)、第二波片(5)、偏振分束器(6)及四倍频晶体(8),以及用于收集所述偏振分束器(6)反射的垃圾光束的四倍频垃圾光收集器(9),上述激光腔外倍频系统稳定性得到了大幅度地改善,实现了减少污染物,控制了移除的新增污染物,提升了整机寿命,清除了不共轴反射光的输出,提高了紫外激光的光束质量,降低了器件的损伤等优点。
搜索关键词: 一种 激光 倍频 系统
【主权项】:
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