[发明专利]平坦度控制方法及装置、涂膜的形成方法及装置在审
| 申请号： | 202110443868.9 | 申请日： | 2021-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN113552771A | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 荻原勤 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种平坦度控制方法及装置、涂膜的形成方法及装置。本发明的平坦度控制方法，用于晶圆的平坦度控制，其包含以下步骤：准备具有包含多个区段的固持面，且该多个区段各自具备干式粘接性纤维构造物的固持构件的步骤；使晶圆吸附于该固持构件的该固持面，而使该晶圆固持于该固持构件的步骤；测量该晶圆的平坦度，而取得该晶圆的平坦度的信息的步骤；及基于该平坦度的信息，而在该固持构件的该固持面的该多个区段的一部分中，释放该干式粘接性纤维构造物对该晶圆所进行的吸附的步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 平坦 控制 方法 装置 形成 | ||
【主权项】：
暂无信息
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