[发明专利]新型多晶硅铸锭用高导热复合坩埚及其制备方法在审
申请号: | 202110425138.6 | 申请日: | 2021-04-20 |
公开(公告)号: | CN113045187A | 公开(公告)日: | 2021-06-29 |
发明(设计)人: | 李健;谢炎;高源 | 申请(专利权)人: | 烟台核晶陶瓷新材料有限公司 |
主分类号: | C03B20/00 | 分类号: | C03B20/00;C03B19/02;C03C3/06;C03C17/34;C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 青岛发思特专利商标代理有限公司 37212 | 代理人: | 董宝锞 |
地址: | 265300 山东*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明涉及一种新型多晶硅铸锭用高导热复合坩埚及其制备方法,属于多晶硅铸锭用坩埚技术领域,包括坩埚体,所述坩埚体为上端开口的腔型结构,所述坩埚体的内腔底部铺设有石墨烯‑二氧化硅复合材料层,所述石墨烯‑二氧化硅复合材料层的上方铺设有石英陶瓷结构层。本发明的一种新型多晶硅铸锭用高导热复合坩埚及其制备方法,通过在坩埚中添加石墨烯‑二氧化硅复合材料层,能有效地增强材料的力学性能和热学性能,使新型复合坩埚具有较高强度的同时还具有很好的韧性,可以有效地减少坩埚的溢流率,同时使用该复合坩埚可降低铸锭过程的能耗,提高多晶硅晶体的质量,满足市场需求。 | ||
搜索关键词: | 新型 多晶 铸锭 导热 复合 坩埚 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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