[发明专利]自驱动紫外光电探测器及制备方法

摘要

本发明提供了一种自驱动紫外光电探测器及其制备方法，涉及半导体紫外光探测技术领域。本发明的自驱动紫外光电探测器用于探测紫外光，且能够探测出紫外光的最低检测限为UVmin，自驱动紫外光电探测器包括绝缘基底、电极层和摩擦层。其中，电极层形成在绝缘基底上，且电极层的材料选择为光敏电阻材料，光敏电阻材料基于光致阻变效应从而在紫外光照射下引起阻值变化。摩擦层形成在电极层上，摩擦层用于与外部基材摩擦起电，从而在摩擦层表面带电。电极层基于静电感应效应感应出与摩擦层表面相反的电荷，且基于光致阻变效应引起的阻值变化，与阻抗匹配效应相耦合，从而引起自驱动紫外光电探测器的输出变化，进而检测出最低检测限为UVmin的所述紫外光。