[发明专利]基于纳米量热仪的凝固形核衬底及其原位制备方法在审
| 申请号： | 202110393529.4 | 申请日： | 2021-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN113265633A | 公开（公告）日： | 2021-08-17 |
| 发明（设计）人： | 高玉来;李顺 | 申请（专利权）人： | 上海大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54;C23C14/04;C23C14/16 |
| 代理公司： | 上海上大专利事务所(普通合伙) 31205 | 代理人： | 顾勇华 |
| 地址： | 200444*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于纳米量热仪的凝固形核衬底及其原位制备方法，利用磁控溅射技术在较低温度的条件下实现凝固形核衬底的制备，通过更换靶材及调整溅射参数可以获取不同材料、不同成分以及不同物理特性参数的衬底界面，在纳米量热仪上安装用于定位衬底溅射的掩模装置可以控制凝固形核衬底的制备范围，在实现原位制备的同时保护传感器非测试区域线路不受影响。通过此种方法能够在纳米量热仪测试区域原位制备特定的凝固形核衬底，通过衬底界面对小体积熔体的形核过程进行诱发，实现凝固过程的精确控制。整个过程简单、方便、高效，适合推广使用。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 纳米 量热仪 凝固 衬底 及其 原位 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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