[发明专利]用于物镜组安装座的虚拟焦点尺寸检测的方法和装置在审
| 申请号： | 202110377787.3 | 申请日： | 2021-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN115200519A | 公开（公告）日： | 2022-10-18 |
| 发明（设计）人： | 陆杨扬;李宇;刘军凯 | 申请（专利权）人： | 睿励科学仪器（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/00 | 分类号： | G01B21/00 |
| 代理公司： | 北京启坤知识产权代理有限公司 11655 | 代理人： | 姜冰莹 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种用于物镜组安装座的虚拟焦点尺寸检测的方法和装置，该方法包括：根据测量到的物镜组安装座的机械加工和安装基准，通过三坐标设备构建三维正交基准面，并基于所述三维正交基准面建立笛卡尔坐标系；通过所述三坐标设备测量所述物镜组安装座上的两个物镜安装孔的三维尺寸数据，根据所述三维尺寸数据，构建分别与所述两个物镜安装孔对应的两个轴线；构建焦平面，其中，所述焦平面平行于所述三维正交基准面中的Top面；判断所述两个轴线和所述焦平面之间形成的两个交点是否均位于以所述焦平面和所述笛卡尔坐标系轴线相交的点为中心的虚拟小球内，若是，确定所述物镜组安装座合格。本申请有助于将合格的物镜组安装座使用到光学系统。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 物镜 安装 虚拟 焦点 尺寸 检测 方法 装置 | ||
【主权项】：
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