[发明专利]基板干燥设备有效
| 申请号： | 202110369057.9 | 申请日： | 2021-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN113175790B | 公开（公告）日： | 2022-09-27 |
| 发明（设计）人： | 陈国辉 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | F26B9/06 | 分类号： | F26B9/06;F26B25/00;F26B25/12 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 远明 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请提供一种基板干燥设备，其包括箱体、门体以及第一柔性薄膜。箱体内部具有干燥腔。箱体的一侧壁上开设有开口。开口与干燥箱相连通。箱体还包括护条。护条设置于侧壁上。护条设置于开口的一侧。门体活动连接于箱体。门体对应于干燥腔设置。门体用于打开或者密封干燥腔。门体包括配合部。配合部对应于护条设置。配合部用于与护条配合将门体固定在箱体上。第一柔性薄膜固定设置于护条或配合部上。当门体固定在箱体上时，第一柔性薄膜连接于护条与配合部之间。本申请能够防止护条与配合部之间发生摩擦，损坏护条，产生金属碎屑。同时，本申请能够密封干燥腔，防止干燥腔内的热量发生流失。 | ||
| 搜索关键词： | 干燥设备 | ||
【主权项】：
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