[发明专利]一种加工二维纳米结构的装置及方法在审
| 申请号： | 202110352626.9 | 申请日： | 2021-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN113176424A | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 崔健磊;尹海龙;梅雪松;王学文;王文君;凡正杰;刘斌;段文强 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01Q60/42 | 分类号： | G01Q60/42 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 王艾华 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种加工二维纳米结构的装置及方法，属于近场光学和纳米光刻领域。为解决现有技术存在的不足，采用光纤连续激光复合AFM探针诱导近场增强技术，通过调节激光波长，诱导可控增强近场制造二维纳米结构可控形态，激光波长的改变会导致AFM探针增强电磁场出现崔健磊，纳米结构形态变化根据增强近场与样品表面结构变化所需能量的相对大小而定。本发明无需更换和损坏探针，以非接触式方式快速、准确的制造不同形态的纳米结构，写图形时间为微秒级，可满足器件制造的需要。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 加工 二维 纳米 结构 装置 方法 | ||
【主权项】：
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