[发明专利]一种10nm级免液氦极低温减振系统有效
| 申请号： | 202110345632.1 | 申请日： | 2021-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN112963498B | 公开（公告）日： | 2021-12-14 |
| 发明（设计）人： | 龚珍彬;张俊彦;周妍 | 申请（专利权）人： | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
| 主分类号： | F16F15/02 | 分类号： | F16F15/02;F16L27/10;F16L55/02;G01N25/00;G01N19/00 |
| 代理公司： | 兰州中科华西专利代理有限公司 62002 | 代理人： | 曹向东 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种10nm级免液氦极低温减振系统，该系统包括隔振地基Ⅰ、隔振地基Ⅱ、外部循环管路系统、内循环管路系统、制冷机和真空腔体。隔振地基Ⅰ与隔振地基Ⅱ之间设有间隙；隔振地基Ⅰ上设有支撑架，该支撑架上固定有真空腔体顶法兰；真空腔体顶法兰与真空腔体相连，该真空腔体内设有一级冷屏；一级冷屏内设有二级冷屏，该二级冷屏内设有连接在一起的回热换热器、氦池、负载测试平台；隔振地基Ⅱ上设有制冷机支撑架，该制冷机支撑架上固定有制冷机安装法兰；制冷机安装法兰分别与真空腔体顶法兰、制冷机相连，该制冷机与一级冷屏、二级冷屏相连；外部循环管路系统与内循环管路系统、制冷机相连。本发明可有效降低内外环境振动、满足测试需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 10 nm 级免液氦极 低温 系统 | ||
【主权项】：
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