[发明专利]一种高精度微型气体流量控制器在审
| 申请号： | 202110342192.4 | 申请日： | 2021-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN113093819A | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | 王俊强;吕晓霖;刘丽丽;李孟委 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G05D7/06 | 分类号： | G05D7/06 |
| 代理公司： | 太原荣信德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 14119 | 代理人： | 杨凯;连慧敏 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明属于气体流量检测技术领域，具体涉及一种高精度微型气体流量控制器，所述封装管帽固定在封装管壳上，所述封装管帽为中空结构，所述封装管帽的一端设有进气口，所述封装管帽的另一端设有出气口，所述封装管帽的内部设置有硅衬底，所述硅衬底固定在封装管壳上，所述硅衬底上设置有绝缘层，所述绝缘层和保护膜之间分别设置有温敏元件、加热元件和金属电极，所述温敏元件、加热元件分别连接有金属电极。本发明利用包含具有优良特性的新材料石墨烯，通过内部桥路，大大的提高了热式传感器的灵敏度，并且由于石墨烯材料的高热导率，有效的提高了器件的响应速度，可应用于微量气体流量范围检测，实现对气体流量的控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高精度 微型 气体 流量 控制器 | ||
【主权项】：
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