[发明专利]用于加工和检测光学反射镜的丝杆支撑装置

摘要

本发明提供了一种用于加工和检测光学反射镜的丝杆支撑装置，该装置包括缸体、砝码、膜片、限位片、丝杆、滚珠轴承、缸盖以及反射镜组件，所述缸体侧面设置一个通孔，用于进出液压油液；限位片、滚动膜片和砝码通过螺栓连接，砝码中心位置从上到下依次设置直径分别为φ10和φ6的盲孔，滚珠轴承放置于直径为φ10的盲孔内，滚珠轴承与丝杆相配合，所述丝杆末端设置限位块，放置于砝码直径为φ6的盲孔内；缸盖中心位置设置与丝杆中间位置配合的内螺纹，内部设置凸台，对限位片进行限位；所述反射镜组件包括反射镜和弹簧，弹簧粘接于反射镜支撑孔内；该装置密封性较好、具有较高的支撑轴向刚度、检测状态下丝杆可以将轴向位移转化为弹簧的输出力对镜面进行主动校正，提高光学加工支撑精度。