[发明专利]一种稀土金属及稀土合金旋转靶材的制造装置及方法有效
申请号: | 202110325579.9 | 申请日: | 2021-03-26 |
公开(公告)号: | CN113106407B | 公开(公告)日: | 2022-07-26 |
发明(设计)人: | 洪威;胡全军;韩小亮;刘帅兵;张永健;崔红岩 | 申请(专利权)人: | 福建省长汀金龙稀土有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C23C14/16;B22D27/15;B22D27/04;B22D23/06 |
代理公司: | 厦门市新华专利商标代理有限公司 35203 | 代理人: | 朱凌 |
地址: | 366300 福建*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本发明公开一种稀土金属或合金旋转靶材的制备设备与方法,该设备可实现金属合金的熔铸成型一体化,将熔炼与铸造成型在同一个空间内完成,有效提高旋转靶材质量。采用该设备的制备方法在熔炼之后可直接成型脱模。本发明操作简单易行,适用于工业化生产;采用本发明的设备与方法能够得到纯度高、成分均匀稳定、成材率高的旋转靶材。 | ||
搜索关键词: | 一种 稀土金属 稀土 合金 旋转 制造 装置 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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