[发明专利]基于石墨烯-金复合薄膜裂纹柔性应变传感器及制备方法

摘要

本发明公开了一种基于石墨烯‑金复合薄膜裂纹柔性应变传感器及其制备方法，制备方法包括：通过掩模版法在PDMS柔性基底上制备金属电极；利用液面自组装法形成准连续石墨烯薄膜；通过提拉法将石墨烯薄膜转移至覆盖传感单元掩膜版的柔性基底；在石墨烯表面磁控溅射纳米金制备出石墨烯‑金复合薄膜；通过对PDMS柔性基底进行预拉伸使石墨烯‑金复合薄膜产生初始裂纹，即得到基于石墨烯‑金复合薄膜裂纹的柔性应变传感器。本发明工艺条件温和、易于阵列化批量制造、所制备的传感器兼具较高的灵敏度和较大的线性量程、并且可通过掩模版图案化的方法增加灵敏度，适于集成在传感系统中完成宽量程范围的应变测量。