[发明专利]一种手机保护膜平整度检测装置在审
| 申请号： | 202110313433.2 | 申请日： | 2021-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN112902882A | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 黄江;赖学辉;师文庆;谢玉萍;王文华;安芬菊 | 申请（专利权）人： | 广东海洋大学 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 王爱涛 |
| 地址： | 518108 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种手机保护膜平整度检测装置，包括：激光器、分光镜、第一平面镜、第二平面镜以及CCD成像系统，该装置基于迈克尔逊干涉仪的原理，检测手机保护膜平整度，即CCD成像系统获得的干涉条纹呈标准的圆形，所述待检测的手机膜平整；干涉条纹呈非标准圆形，待检测的手机膜不平整。本发明提供的装置检测精度超过40nm，远超目前的检测精度标准。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 手机 保护膜 平整 检测 装置 | ||
【主权项】：
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