[发明专利]带电粒子束照射装置

摘要

本发明提供带电粒子束照射装置。在以往的带电粒子束照射装置中，存在因用于对照射口供电的电缆引起的问题。带电粒子束照射装置具备：聚束电磁铁，通过使带电粒子束偏转，连续改变带电粒子束向等角点的照射角；照射口，沿着聚束电磁铁的有效磁场区域的射出侧的形状连续移动，从聚束电磁铁射出的带电粒子束经过照射口向等角点照射；供电导轨，以沿着有效磁场区域的射出侧的形状的方式设置；集电靴，经由支撑部件固定于照射口，沿着供电导轨滑动，将来自供电导轨的电力供给到照射口，所述集电靴的与供电导轨接触的面具有与供电导轨相同的弯曲半径或供电导轨的平均弯曲半径且/或所述集电靴与供电导轨的平坦的侧面接触并且沿着供电导轨滑动。