[发明专利]旋转硅铝靶材再制造的装置及其制备方法有效
| 申请号： | 202110308517.7 | 申请日： | 2021-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN113073297B | 公开（公告）日： | 2023-05-02 |
| 发明（设计）人： | 葛源;郑春园;戴凌杰;刘纯;吴奇 | 申请（专利权）人： | 熔创金属表面科技（常州）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C4/02;C23C4/067;C23C4/16;B23K26/352 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 213164 江苏省常州市武进区常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种旋转硅铝靶材再制造的装置及其制备方法，该装置能够用于对硅铝靶材管表面进行激光加工处理，旋转硅铝靶材再制造的装置包括：支撑座，沿底座的一侧设有第一滑轨；固定件，两个固定件的上端分别相对设有安装部；第二滑轨，形成为条状且与所述第一滑轨间隔开平行相对设置；激光加工单元，包括激光加工头、保护气喷嘴、氧气浓度检测模块、光斑温度检测模块，激光加工头设在第二滑轨上且可沿所述第二滑轨滑动和/或锁定。该旋转硅铝靶材再制造的装置具有产品装卸简单、便于实时监控加工参数等优点，利用该装置的制备方法具有步骤简单、加工效率高等优点，能够提高硅铝靶材的使用率，减少浪费，节约成本。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转 硅铝靶材再 制造 装置 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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