[发明专利]基于声子晶体的薄膜体声波谐振器在审
| 申请号： | 202110301278.2 | 申请日： | 2021-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN113114155A | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 轩伟鹏;石林豪;张标;董树荣;金浩;骆季奎 | 申请（专利权）人： | 杭州电子科技大学 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/05;H03H9/17 |
| 代理公司： | 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人： | 黄前泽 |
| 地址： | 310018 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了基于声子晶体的薄膜体声波谐振器。传统体声波谐振器需要制备空腔或布拉格结构，会降低器件Q值。本发明的声子晶体声反射层位于衬底内部，且声子晶体声反射层和衬底的上表面平齐；支撑层覆盖衬底和声子晶体声反射层；下电极置于支撑层上；压电薄膜置于支撑层和下电极上，并包围支撑层；上电极置于压电薄膜上；上电极与下电极的两端端面均不对齐，且下电极至少有一端端面超出上电极对应端的端面；压电薄膜在位于下电极的上表面超出上电极的一端位置开设有一个通孔。本发明将特定结构的声子晶体作为体声波谐振器的体声波底部声反射层，提高了器件Q值。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 晶体 薄膜 声波 谐振器 | ||
【主权项】：
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