[发明专利]一种用于连续直拉单晶的熔融硅加料器在审
| 申请号： | 202110301214.2 | 申请日： | 2021-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN113061978A | 公开（公告）日： | 2021-07-02 |
| 发明（设计）人： | 丁欣 | 申请（专利权）人： | 上海引万光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/02 | 分类号： | C30B15/02;C30B15/00;C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司： | 上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31313 | 代理人： | 张东梅 |
| 地址： | 200331 上海市普陀*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明的实施例提供一种用于连续直拉单晶的熔融硅加料器，包括：开放式坩埚，所述开放式坩埚具有位于顶部的顶部开口和位于下部的注入口，所述开放式坩埚接收并容纳固态硅原料；加热器，所述加热器对开放式坩埚进行加热，使得其中的固态硅熔融，并且通过开放式坩埚的底部的注入口注入下方；外壳，所述外壳对熔融硅加料器的整体结构进行包围和真空密封。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 连续 直拉单晶 熔融 料器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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