[发明专利]一种用于等离子体放电的紧凑型混合式隔离Marx脉冲发生器

摘要

本发明公开了一种用于等离子体放电的紧凑型混合式隔离Marx脉冲发生器，包括电源系统、MOSFET驱动电路系统、光纤控制电路系统和脉冲电压输出系统。其中脉冲电压输出系统包括若干级，每一级包括一个储能电容、一个接地电阻和一个隔离元器件(电阻或二极管)。所述的Marx电路由电源系统供电，通过Marx结构先进行各级并联对电容进行充电，再通过信号发生器产生触发信号输送到光纤控制电路系统，光纤控制电路系统接收到信号后开始对MOSFET驱动电路系统进行开断控制，进而由于开关的导通使各级电容进行串联放电，产生的脉冲电压幅值可达几千伏，脉宽可持续数百纳秒。本系统的特点是首先采用正负极性两个电源进行充电，提高充电效率；其次充电电容采用背靠背式摆放方式，保证电路尽可能紧凑，减小该装置体积；最后正负充电回路隔离位置采用两种不同元器件进行隔离，这种混合式隔离方式缩短了充电时间，提高了充电的能量效率，在重频工作时有明显优势。本发明可通过调节充电电源输出电压幅值，调节信号发生器产生信号的脉宽和频率来实现输出脉冲电压幅值0～9kV可调、输出脉宽0～900ns可调、重复频率0～2000HZ可调等功能。