[发明专利]一种超黑高性能Ti-DLC涂层的制备工艺有效
| 申请号： | 202110298324.8 | 申请日： | 2021-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN113061845B | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 张心凤;夏正卫;李灿民;范洪跃 | 申请（专利权）人： | 安徽纯源镀膜科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/34;C23C14/02;C23C14/14 |
| 代理公司： | 合肥九道和专利代理事务所(特殊普通合伙) 34154 | 代理人： | 胡发丁 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种超黑高性能Ti‑DLC涂层的制备工艺，包括将工件置于真空腔室内，对真空腔室进行抽气处理，抽气处理后对真空腔室和/或工件进行除杂处理，除杂处理后向真空腔室内充入Ar，采用中频电源孪生Ti靶在工件的表面制备打底层，打底层制备好后，向真空腔室内增加充入C |
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| 搜索关键词： | 一种 超黑高 性能 ti dlc 涂层 制备 工艺 | ||
【主权项】：
暂无信息
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