[发明专利]批量化涂膜设备及批量化涂膜方法在审
申请号: | 202110291066.0 | 申请日: | 2021-03-18 |
公开(公告)号: | CN115106245A | 公开(公告)日: | 2022-09-27 |
发明(设计)人: | 李运峰;夏斌;韩明松 | 申请(专利权)人: | 深圳硅基传感科技有限公司 |
主分类号: | B05C3/10 | 分类号: | B05C3/10;B05C11/10;B05C13/02 |
代理公司: | 深圳舍穆专利代理事务所(特殊普通合伙) 44398 | 代理人: | 邱爽 |
地址: | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本公开描述了一种提高一致性的批量化涂膜设备及批量化涂膜方法,其包括固定机构、盛液机构、注液机构和控制装置,固定机构具有用于固定待涂膜工件的多个固定部,盛液机构具有并排布置且用于盛装涂膜液的形状相同的多个液槽,注液机构具有用于容纳涂膜液的储液部以及与储液部连通并用于供应涂膜液的输注部,控制装置控制注液机构与盛液机构相对移动以使输注部对准液槽并控制输注部向液槽中供应预定体积的涂膜液;并且控制装置控制盛液机构与固定机构相对移动以使固定于固定机构的待涂膜工件浸入液槽中的涂膜液并从液槽中的涂膜液离开,从而在待涂膜工件上形成涂覆膜。根据本公开,能够提供一种提高一致性的批量化涂膜设备及批量化涂膜方法。 | ||
搜索关键词: | 批量 化涂膜 设备 方法 | ||
【主权项】:
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