[发明专利]一种靶材与背板的高性能焊接方法有效
| 申请号： | 202110290361.4 | 申请日： | 2021-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN113084289B | 公开（公告）日： | 2022-11-15 |
| 发明（设计）人： | 徐国进;罗俊锋;朱孜毅;张巧霞;丁照崇;李勇军;滕海涛;庞欣;熊晓东;冯昭伟 | 申请（专利权）人： | 有研亿金新材料有限公司 |
| 主分类号： | B23K1/008 | 分类号： | B23K1/008;B23K1/20 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 李全旺 |
| 地址： | 102200*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种靶材与背板的高性能焊接方法，通过真空焊接技术，设计合理的焊接面排气花纹，克服常规焊接方法无法排除焊接面气体及焊料氧化膜混入的问题，对于高温焊接具有较大的优势，避免了高温焊接过程中焊料的氧化，同时，背板及靶材也得到保护，避免高温操作风险，操作简单，焊合率达到99％以上，局部最大未焊合率≤0.5％；本发明的焊接方法，克服了常规钎焊焊接方法焊接变形大问题，降低了靶材的焊接应力，焊接后靶材平面度≤0.5mm，通过后续调平技术，可保证靶材成品的厚度均匀性，提高靶材的性能；本发明的焊接方法，一炉可同时加工多块靶材，提高了生产效率，消除了焊接过程中人为因素的影响，可实现靶材焊接的批量化生产，稳定一致性高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 背板 性能 焊接 方法 | ||
【主权项】：
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