[发明专利]一种绝对光栅尺在审
申请号: | 202110290002.9 | 申请日: | 2021-03-18 |
公开(公告)号: | CN112880571A | 公开(公告)日: | 2021-06-01 |
发明(设计)人: | 于海 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02 |
代理公司: | 长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙) 22218 | 代理人: | 高一明;郭婷 |
地址: | 130033 吉林省长春*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 本发明属于光电位移精密测量技术领域,涉及一种绝对光栅尺,包括标度尺、在标度尺尺身上方,与尺身延伸方向平行且与尺身的编码标线面垂直的滑动导轨、安装于滑动导轨上,能够沿滑动导轨进行直线移动的读数头。通过M条编码标线中任意N条相邻的编码标线所代表的数值组成一组编码值,获取相应编码值的译码值C,利用读数头采集的图像计算获取细分数值S,将细分数值S与译码值C结合,得到线位移测量数值。本发明采用线阵图像传感器实现位移的识别和细分,能够较传统技术实现更高的分辨力和测量精度;采用全数字化运算图像识别系统,具有更强的抗干扰能力和更高的使用寿命。 | ||
搜索关键词: | 一种 绝对 光栅尺 | ||
【主权项】:
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