[发明专利]一种绝对光栅尺在审

专利信息
申请号: 202110290002.9 申请日: 2021-03-18
公开(公告)号: CN112880571A 公开(公告)日: 2021-06-01
发明(设计)人: 于海 申请(专利权)人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
主分类号: G01B11/02 分类号: G01B11/02
代理公司: 长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙) 22218 代理人: 高一明;郭婷
地址: 130033 吉林省长春*** 国省代码: 吉林;22
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摘要: 发明属于光电位移精密测量技术领域,涉及一种绝对光栅尺,包括标度尺、在标度尺尺身上方,与尺身延伸方向平行且与尺身的编码标线面垂直的滑动导轨、安装于滑动导轨上,能够沿滑动导轨进行直线移动的读数头。通过M条编码标线中任意N条相邻的编码标线所代表的数值组成一组编码值,获取相应编码值的译码值C,利用读数头采集的图像计算获取细分数值S,将细分数值S与译码值C结合,得到线位移测量数值。本发明采用线阵图像传感器实现位移的识别和细分,能够较传统技术实现更高的分辨力和测量精度;采用全数字化运算图像识别系统,具有更强的抗干扰能力和更高的使用寿命。
搜索关键词: 一种 绝对 光栅尺
【主权项】:
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