[发明专利]激光碟片晶体的键合方法在审
申请号: | 202110270804.3 | 申请日: | 2021-03-12 |
公开(公告)号: | CN113054517A | 公开(公告)日: | 2021-06-29 |
发明(设计)人: | 林学春;苗张旺;于海娟;何超建;左杰希;韩世飞 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | H01S3/06 | 分类号: | H01S3/06 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 刘歌 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供一种激光碟片晶体的键合方法,该键合方法包括:将碟片增益介质放置在环形未掺杂介质中,其中,碟片增益介质为圆台型或棱台型;利用压块在碟片增益介质的上端面施加压力,使碟片增益介质和环形未掺杂介质紧密贴合,得到激光碟片晶体;其中,碟片增益介质的侧面和环形未掺杂介质的内表面完全重合;将激光碟片晶体置于加热炉中,在预设温度条件下进行加压扩散键合,得到键合后的激光碟片晶体。 | ||
搜索关键词: | 激光 碟片 晶体 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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