[发明专利]一种吸气/离子复合一体泵在审
申请号: | 202110268533.8 | 申请日: | 2021-03-12 |
公开(公告)号: | CN112901448A | 公开(公告)日: | 2021-06-04 |
发明(设计)人: | 张心强 | 申请(专利权)人: | 张心强 |
主分类号: | F04B37/02 | 分类号: | F04B37/02;F04B37/04;F04B37/14;H01J41/12 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 100083 北京市海淀区*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及一种吸气/离子复合一体泵,包括用作阴极的吸气剂板、连接高压的阳极筒、真空腔外壳、电引入、绝缘件、真空连接管、强磁铁等配件。工作时,可直接启动高压电源,电离后气体离子直接轰击阴极板,将吸气剂表面上的氧化层打掉,即同步完成吸气剂激活,飞溅出的吸气剂颗粒组成薄膜沉积到了阳极筒壁,对惰性气体进行了掩盖,具备了吸收惰性气体的能力。所述的吸气/离子复合一体泵通过结构设计,去除了吸气剂的激活单元,兼顾吸收惰性气体以及大大提升了吸收氢气速率。 | ||
搜索关键词: | 一种 吸气 离子 复合 一体 | ||
【主权项】:
暂无信息
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