[发明专利]一种吸气/离子复合一体泵在审

专利信息
申请号: 202110268533.8 申请日: 2021-03-12
公开(公告)号: CN112901448A 公开(公告)日: 2021-06-04
发明(设计)人: 张心强 申请(专利权)人: 张心强
主分类号: F04B37/02 分类号: F04B37/02;F04B37/04;F04B37/14;H01J41/12
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 100083 北京市海淀区*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明涉及一种吸气/离子复合一体泵,包括用作阴极的吸气剂板、连接高压的阳极筒、真空腔外壳、电引入、绝缘件、真空连接管、强磁铁等配件。工作时,可直接启动高压电源,电离后气体离子直接轰击阴极板,将吸气剂表面上的氧化层打掉,即同步完成吸气剂激活,飞溅出的吸气剂颗粒组成薄膜沉积到了阳极筒壁,对惰性气体进行了掩盖,具备了吸收惰性气体的能力。所述的吸气/离子复合一体泵通过结构设计,去除了吸气剂的激活单元,兼顾吸收惰性气体以及大大提升了吸收氢气速率。
搜索关键词: 一种 吸气 离子 复合 一体
【主权项】:
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