[发明专利]基于压电薄膜换能的石英谐振器以及电子设备有效
| 申请号： | 202110266197.3 | 申请日： | 2021-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN113037245B | 公开（公告）日： | 2023-02-03 |
| 发明（设计）人： | 张孟伦;庞慰 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京汉智嘉成知识产权代理有限公司 11682 | 代理人： | 姜劲;谷惠敏 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于压电薄膜换能的石英谐振器，包括：基底、声学镜、压电薄膜换能层、石英谐振主体层、第一电极和第二电极，其中，压电薄膜换能层的机电耦合系数大于石英谐振主体层的机电耦合系数。该石英谐振器同时具备高Q值、高机电耦合系数、高频率稳定性、制造较简单等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 压电 薄膜 石英 谐振器 以及 电子设备 | ||
【主权项】：
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