[发明专利]一种单晶棒防坠落装置在审
申请号: | 202110264209.9 | 申请日: | 2021-03-11 |
公开(公告)号: | CN112877769A | 公开(公告)日: | 2021-06-01 |
发明(设计)人: | 王东;王宗均;张保宁 | 申请(专利权)人: | 邢台晶龙电子材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/30 | 分类号: | C30B15/30;C30B29/06 |
代理公司: | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人: | 徐颖聪 |
地址: | 054000 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本发明提供一种单晶棒防坠落装置,包括移动装置、夹紧装置、防坠落支架,所述移动装置连接在单晶炉副室外侧且能够沿着所述副室上下移动,所述移动装置包括左右对称设置的两个,所述夹紧装置连接在所述移动装置的下端且包括左右对称设置的两个,所述夹紧装置可夹紧/松开,所述防坠落支架连接在所述夹紧装置上且包括左右对称设置的两个,两个所述防坠落支架的自由端向内侧延伸以使两个所述防坠落支架的自由端之间的距离小于单晶棒的直径。该单晶棒防坠落装置,通过夹紧装置在单晶棒突然坠落时快速夹紧单晶棒,同时通过防坠落支架进行配合,由于防坠落支架的自由端之间的距离小于单晶棒的直径能够防止单晶棒继续下坠,从而能避免单晶棒掉落。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶棒防 坠落 装置 | ||
【主权项】:
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