[发明专利]一种片上集成高重频激光谐振腔器件和超短脉冲激光器

摘要

本申请公开了一种片上集成高重频激光谐振腔器件和超短脉冲激光器，其中片上集成高重频激光谐振腔器件包括两端分别镀有半导体可饱和吸收镜和二色介质膜的半导体基片和置于半导体基片上的光纤槽中的增益光纤，增益光纤的两端分别对接半导体可饱和吸收镜的内表面和二色介质膜的内表面。超短脉冲激光器包括泵浦激光发生系统、耦合系统和上述片上集成高重频激光谐振腔器件。本申请器件集成度高，实用性强。进一步，本申请还通过压电致动器带动增益光纤伸缩以实现脉冲激光重复频率的调谐；本申请还通过在在半导体基片上布设多个激光谐振腔以实现脉冲激光阵列输出；本申请还通过控制调压器对各压电制动器独立调压实现多路脉冲激光频率同步。