[发明专利]一种高折射率全介质纳米球颗粒的制备方法

摘要

本发明公开了一种高折射率全介质纳米球颗粒的制备方法。该方法包括如下步骤：先在基板上利用重力自组装形成均匀纳米球阵列，根据实际所需反射或透射波长，进一步通过干法刻蚀调节阵列中纳米球的尺寸，然后将纳米球阵列浸入金属氧化物溶胶中，以纳米球为内核，在每个纳米球外壳形成高折射率金属氧化物包覆层，所形成的全介质纳米球颗粒具有显著的米氏共振特性。本发明可通过调节阵列中纳米球的尺寸、间距、排列方式、金属氧化物包覆层厚度及不同的结晶相影响电磁共振，获得不同反射及透射波长。制备的纳米球颗粒具有反射率高，稳定性好，成本低的优点，可大规模制备，有望应用于照明显示、光探测、激光、太阳能电池、发光二极管等领域。