[发明专利]一种真空微粒计数器有效
| 申请号： | 202110257687.7 | 申请日： | 2021-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN112630127B | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 赵烨梁;胡晓 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海高等研究院 |
| 主分类号： | G01N15/10 | 分类号： | G01N15/10 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 邓琪;熊俊杰 |
| 地址： | 201210 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种真空微粒计数器，包括外壳，其具有沿z向贯穿外壳的测量孔，外壳的内部固定有：光入射部，用于发射激光并形成截面光强均匀分布的平顶光束，位于测量孔的一侧，包括沿x向依次排列的激光器、入射光学元件组和入射光阑，入射光学元件组包括沿x向依次排列的聚焦透镜、匀光棒和透镜组；光探测部，收集平顶光束被微粒散射而形成的散射光，并根据收集到的散射光探测微粒数量；光出射部，与光入射部相对位于测量孔的另一侧，用于吸收光入射部发出的激光中未被微粒散射的部分。本发明的真空微粒计数器，采用包含匀光棒的特殊入射光路，使得入射激光形成截面光强均匀分布的平顶光束，可增大有效测量区域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 微粒 计数器 | ||
【主权项】：
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