[发明专利]一种纳米金刚石氟化液流体的制备方法在审
| 申请号： | 202110252596.4 | 申请日： | 2021-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN113265231A | 公开（公告）日： | 2021-08-17 |
| 发明（设计）人： | 张耀中 | 申请（专利权）人： | 南京微米电子产业研究院有限公司 |
| 主分类号： | C09K5/10 | 分类号： | C09K5/10;G06F1/20;C01B32/28 |
| 代理公司： | 南京瑞华腾知识产权代理事务所(普通合伙) 32368 | 代理人： | 邱欢欢 |
| 地址： | 210000 江苏省南京市江北*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： |
本发明公开了一种纳米金刚石氟化液流体的制备方法，包括：S1：原料准备；S2：在上述前驱体溶液外布置水流冷凝循环系统，确保一直处于室温状态，并对前驱体溶液进行进行超声震荡；S3：对上述超声震荡后的前驱体溶液用脉冲激光连续辐照，每隔2小时对溶液取样，测试溶液的电阻率，当电阻率大于1×10 |
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| 搜索关键词： | 一种 纳米 金刚石 氟化 流体 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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