[发明专利]一种显影液回收装置在审
申请号: | 202110247127.3 | 申请日: | 2021-03-05 |
公开(公告)号: | CN113009792A | 公开(公告)日: | 2021-06-22 |
发明(设计)人: | 胡磊;魏攀龙;施利君;蒋新 | 申请(专利权)人: | 苏州晶洲装备科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/30 | 分类号: | G03F7/30 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 胡彬 |
地址: | 215555 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及废液回收技术领域,尤其涉及一种显影液回收装置,显影液回收装置包括回收存储单元、处理单元和回用单元;所述回收存储单元包括废液收集罐,所述废液收集罐用于收集废弃的显影液;所述处理单元用于对废弃的显影液进行处理,包括依次连通的反应沉淀装置和过滤装置,所述反应沉淀装置与所述废液收集罐连通,用于对废弃的显影液中的树脂进行沉积,所述过滤装置用于对废弃的显影液进行过滤;所述回用单元包括回收液存储罐和原液罐,所述回收液存储罐与所述过滤装置连通,所述回收液存储罐中设置有检测系统。本发明能够对显影液废液进行处理和回收,从而减少对环境的污染,降低成本,扩充企业产能。 | ||
搜索关键词: | 一种 显影液 回收 装置 | ||
【主权项】:
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