[发明专利]一种用于3D心肌细胞胞外电位检测的高通量微腔电位传感器及检测方法在审
| 申请号： | 202110244911.9 | 申请日： | 2021-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN113030215A | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 王平;魏鑫伟;邱勇;陈畅明;蒋得明;吴建国;庄柳静;万浩 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01N27/327 | 分类号： | G01N27/327;G01N27/416 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 郑海峰 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于3D心肌细胞胞外电位检测的高通量微腔电位传感器及检测方法。本发明首先利用微加工技术设计制造了高通量3D微腔电位传感器，该传感器以4英寸硅片为基底材料，在硅基底上热氧化形成SiO2薄膜，利用掩膜版光刻形成mask，利用湿法刻蚀Si形成15个正方形微腔结构，并在微腔的四面侧壁上溅射Au形成金属层，再利用PECVD沉积Si3N4覆盖导线作为绝缘层，在加工好的微腔芯片上封装PMMA材质的腔体形成3D微腔传感器。利用悬滴法将HL‑1心肌细胞培养成3D心肌细胞微球，然后用移液枪将3D心肌细胞微球接种至高通量微腔电位传感器芯片的微腔结构内，并连接信号检测系统进行胞外电信号检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 心肌 细胞 外电 检测 通量 电位 传感器 方法 | ||
【主权项】：
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