[发明专利]一种半导体器件的自动检测装置和方法及应用在审
| 申请号： | 202110241938.2 | 申请日： | 2021-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN112881429A | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 饶炯辉;雷畅 | 申请（专利权）人： | 武汉人和睿视科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/01 |
| 代理公司： | 武汉智汇为专利代理事务所(普通合伙) 42235 | 代理人： | 李恭渝 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市硚*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种半导体器件的自动检测装置和方法及应用，包括检测台、第一显微镜、第二显微镜和控制组件，所述第一显微镜和第二显微镜相互垂直设置，所述检测台用于承载半导体器件位于第一显微镜和第二显微镜的视场交点，所述检测台包括半导体吸附组件和半导体移动组件，所述控制组件用于控制半导体移动组件对半导体吸附组件的平移和旋转，以及控制所述第一显微镜和第二显微镜采集半导体器件的表面图像、并判断和记录检测数据，所述第二显微镜为微分干涉显微镜。通过第二显微镜发出偏振光至待检测半导体器件的侧面，再反射至第二显微镜的CCD成像系统得到了数字图像，通过算法提取出半导体器件的侧面缺陷，实现对半导体器件的高精度检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体器件 自动检测 装置 方法 应用 | ||
【主权项】：
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