[发明专利]一种检测用柱面镜头有效
| 申请号： | 202110240137.4 | 申请日： | 2021-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN113008133B | 公开（公告）日： | 2023-02-17 |
| 发明（设计）人： | 韩森;李雪园;贾文昕;张凌华;韩博;朱亦鸣;康岩辉;祝永进;俞大海 | 申请（专利权）人： | 苏州慧利仪器有限责任公司 |
| 主分类号： | G01B9/023 | 分类号： | G01B9/023;G01B9/02015;G01B11/24;G02B7/00 |
| 代理公司： | 上海德昭知识产权代理有限公司 31204 | 代理人： | 郁旦蓉 |
| 地址： | 215164 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种检测用柱面镜头，属于光学干涉检测领域涉，设置在干涉仪的焦前，用于检测柱面镜的表面形貌，该干涉仪发射平面光，其特征在于，包括：镜筒，呈筒状；平面镜，固定在镜筒中；以及计算全息图CGH，用于与平面镜相配合将平面光转化为柱面光，固定在镜筒中，其中，平面镜与计算全息图CGH沿干涉仪发射的平面光的光路依次设置在镜筒内，平面镜与计算全息图CGH互相平行且光轴重合。本发明提供的检测用柱面镜头，还可以具有这样的特征，其中，镜筒包括罩筒、第一镜座以及第二镜座，罩筒呈筒状，其两端分别设置有向罩筒的轴线延伸的第一限位部以及第二限位部，第一镜座呈筒状，第二镜座呈一端开口的柱状。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 柱面 镜头 | ||
【主权项】：
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