[发明专利]一种用于5G滤波器表面的薄膜层及其制备方法在审
申请号: | 202110226346.3 | 申请日: | 2021-03-01 |
公开(公告)号: | CN113025982A | 公开(公告)日: | 2021-06-25 |
发明(设计)人: | 赵明华;汪达文;汪经纬;武俊伟 | 申请(专利权)人: | 森科五金(深圳)有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C23C14/32;C23C14/06;C23C14/18;C23C14/14 |
代理公司: | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人: | 任志龙 |
地址: | 518000 广东省深圳市光明*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本申请涉及真空镀膜领域,具体公开了一种用于5G滤波器表面的薄膜层及其制备方法。用于5G滤波器表面的薄膜层包括依次覆盖于5G滤波器表面的Cr层、WC层以及Ni层;其制备方法包括以下步骤:步骤1,清洗5G滤波器;步骤2,真空镀膜室内离子清洗;步骤3,沉积Cr层;步骤4,沉积WC层;步骤5,沉积Ni层;采用上述制备方法制得5G滤波器。本申请的薄膜层可用于5G滤波器表面,其具有提高5G滤波器表面与电镀层的附着力的优点;另外,本申请的制备方法具有易于生产控制,有利于实现批量工业化生产的优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 滤波器 表面 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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