[发明专利]柔性铰链机构、超精密直线运动平台及双工件工作台有效
| 申请号： | 202110215471.4 | 申请日： | 2021-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN113059537B | 公开（公告）日： | 2022-07-15 |
| 发明（设计）人： | 杨志军;黄建彬;苏丽云;黄瑞锐 | 申请（专利权）人： | 佛山市华道超精科技有限公司 |
| 主分类号： | B25H1/00 | 分类号： | B25H1/00 |
| 代理公司： | 深圳市温斯顿专利代理事务所(普通合伙) 44686 | 代理人： | 徐员兰 |
| 地址： | 528000 广东省佛山市南海区丹灶*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种柔性铰链机构、超精密直线运动平台及双工件工作台，柔性铰链机构可以通过控制至少三个音圈电机的同步升降来实现工作台的高度调节，可以通过处于同一边上的音圈电机升降与其它边上的音圈电机产生高度差来实现工作台的偏转俯仰。一方面采用冗余驱动替代并联机构，无需解耦；另一方面，采用音圈电机驱动的柔性铰链组，所述柔性铰链片组分别与所述基座和工作台固定，单一模态，避免了高速运动时的多模态叠加。上述柔性铰链机构可应用在机械导轨式直线平台上，通过偏摆俯仰和高度调节，实现更高的平面度和直线度；还可以配合接触切换式多轴气浮导轨平台，六自由度工件台，满足光刻机的六自由度调整需求。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性 铰链 机构 精密 直线运动 平台 双工 工作台 | ||
【主权项】：
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