[发明专利]用于装、卸装置的基板库

摘要

本发明涉及一种用于生产线的装、卸装置的基板库系统(1)，具有至少一个基板库(2)，基板库具有两个彼此间隔开且彼此平行的侧壁(13,14)，在两个侧壁之间设有多个上下叠置的抽屉(15)，其中，抽屉用于分别存储一个或多个平坦的基板(18)，每个抽屉分别通过两个导轨(16,17)形成，两个导轨彼此间隔开且相对地设置在侧壁上，其中，至少一个侧壁(14)可移动地安装以使两个侧壁之间的净宽可变，以及具有至少一个基板处理装置(3)，至少一个基板库为处理基板而设置在基板处理装置上或其上方。在此，基板处理装置具有第一致动器(28)，其通过可操作的联接件(34)与可移动的侧壁(14)联接并使其在联接的状态下移动。