[发明专利]气体混合供应装置、混合系统及气体混合供应方法有效
| 申请号： | 202110210724.9 | 申请日： | 2021-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN113375053B | 公开（公告）日： | 2023-09-15 |
| 发明（设计）人： | 金柾完;金省准 | 申请（专利权）人： | KC股份有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/02 | 分类号： | F17D1/02;F17D3/01;B01F23/10 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 习瑞恒;李盛泉 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种气体混合供应装置、混合系统及气体混合供应方法，尤其涉及一种用于更有效地供应供应气体的气体混合供应装置、混合系统及气体混合供应方法。本发明的气体混合供应装置包括：混合系统，将混合有多个种类的气体的供应气体供应至储罐；供应系统，将存储于所述储罐的供应气体供应至气体需求处，所述混合系统包括：第一排出线及第二排出线，分别从使所述供应气体向所述储罐流动的混合气体供应线分支而连接到外部；混合气体浓度分析部及混合气体压力测量部，测量在所述第二排出线流动的供应气体的浓度及压力，所述控制部根据测量的供应气体的浓度和压力控制流动于所述混合气体供应线的供应气体向所述储罐和所述第一排出线中的一个流动。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 混合 供应 装置 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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