[发明专利]一种喷嘴表面的镀膜方法在审
| 申请号： | 202110198802.8 | 申请日： | 2021-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN114959557A | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 胡咏兵 | 申请（专利权）人： | 东莞新科技术研究开发有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/06;C23C14/18;C23C14/34;C23C4/123;C23C4/08 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫 |
| 地址： | 523087 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种喷嘴表面的镀膜方法，包括：将喷嘴置于真空室内，控制真空室内的气压稳定在0.5Pa，温度稳定在300℃，并以第一预设流量向真空室内通入氩气；启动平面碳靶，将控制电源的功率调整至5kW，在喷嘴的表面进行第一次溅射，形成碳过渡层；将真空室内的温度调整至500℃，将控制电源的功率调整至10kW，向喷嘴施加‑200V的偏压，在碳过渡层的表面进行第二次溅射，形成掺杂碳的类金刚石镀膜层；将通入的氩气流量增加至第二预设流量，向喷嘴施加‑400V的偏压，启动柱弧铬靶，在类金刚石镀膜层的表面进行第三次溅射，形成铬层。本发明能够更好的控制喷嘴喷出的液体锡球的形成，从而避免焊接后的焊点脱落，并且能够有效防止液体锡附着在喷嘴表面。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 喷嘴 表面 镀膜 方法 | ||
【主权项】：
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