[发明专利]一种带有多节距叉指式换能器的横向激励的薄膜体声波谐振器在审
| 申请号： | 202110197006.2 | 申请日： | 2021-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN113328721A | 公开（公告）日： | 2021-08-31 |
| 发明（设计）人： | 布莱恩特·加西亚 | 申请（专利权）人： | 谐振公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 董科 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文公开了声波谐振器及制造声波谐振器的方法。声波谐振器包括一单晶压电板，单晶压电板具有正面和背面，背面附接到基板的表面，但是形成跨越基板中的空腔的压电板部分未附接到基板的表面。正面的导体图案包括一多节距叉指式换能器(IDT)，IDT交错的指状物设置在隔膜上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 带有 多节距叉指式换能器 横向 激励 薄膜 声波 谐振器 | ||
【主权项】：
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