[发明专利]扭转式仿生纤毛流速传感器装置在审
| 申请号： | 202110189293.2 | 申请日： | 2021-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN112978670A | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | 刘武;訾鹏;梁贺龙;许海军;卢建勋 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81B7/02;G01D21/02 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 胡晶 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种扭转式仿生纤毛流速传感器装置，包括：纤毛、硅结构层、金属电极与引线引脚层以及Pyrex玻璃层；自上而下依次设置纤毛、硅结构层、金属电极与引线引脚层以及Pyrex玻璃层；所述硅结构层包括：电容上极板；所述纤毛紧固连接于电容上极板上；所述金属电极与引线引脚层包括：电容上极板电极引线引脚、电容下极板与其电极引线引脚；所述电容上极板电极引线引脚和电容下极板电极引线引脚设置于金属引脚层的上部；所述电容下极板设置于金属引脚层的下部；所述Pyrex玻璃层设置于扭转式仿生纤毛流速传感器装置的底部。 | ||
| 搜索关键词： | 扭转 仿生 纤毛 流速 传感器 装置 | ||
【主权项】：
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