[发明专利]悬浮运输设备和激光处理设备在审
| 申请号： | 202110182770.2 | 申请日： | 2021-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN113307039A | 公开（公告）日： | 2021-08-27 |
| 发明（设计）人： | 藤贵洋;山口芳広 | 申请（专利权）人： | 株式会社日本制钢所 |
| 主分类号： | B65G54/00 | 分类号： | B65G54/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 曹廷廷 |
| 地址： | 日本国东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种悬浮运输设备和激光处理设备。根据一实施例的悬浮运输设备用于通过将气体喷射到基板的下表面来使基板漂浮的同时运输基板。悬浮运输设备包括：多个喷射口，构造成将气体喷射到基板；下游流路，构造成将气体供给到多个喷射口；上游流路，构造成将气体供给到下游流路；以及气体供给口，构造成将气体供给到下游流路。上游流路的截面积被构造成大于下游流路的截面积。 | ||
| 搜索关键词： | 悬浮 运输设备 激光 处理 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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