[发明专利]操作粒子束装置的方法、计算机程序产品和粒子束装置在审
| 申请号： | 202110182741.6 | 申请日： | 2021-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN113253333A | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | D.普雷克斯扎斯 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 |
| 主分类号： | G01T5/00 | 分类号： | G01T5/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王蕊瑞 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种用于操作粒子束装置以对物体进行成像和/或分析的方法、一种计算机程序产品和一种用于执行该方法的粒子束装置。该粒子束装置例如被实施为电子束装置和/或离子束装置。该方法包括：生成粒子束；将该粒子束聚焦到该物体的扫描区域上，其中，该扫描区域被实施为第一区；使该粒子束在该物体上的扫描场之上扫描，其中，在扫描设备最大偏转的情况下，该扫描场被实施为第二区，其中，该扫描区域的第一区和该扫描场的第二区具有第一重叠区域，并且其中，该扫描场的第二区具有与该扫描区域的第一区不重叠的第二区域；以及利用仅由于源自该第一重叠区域的第一相互作用粒子和/或相互作用辐射而生成的检测信号生成图像和/或执行分析。 | ||
| 搜索关键词： | 操作 粒子束 装置 方法 计算机 程序 产品 | ||
【主权项】：
暂无信息
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